Technology & Engineering for Thin Film Applications

         >> PLASMA-POWER Solutions and Consulting <<


DC und gepulstes DC von 3-150KW

Für Single und Dual Magnetronanwendungen, Unipolar / Bipolar.

In Kooperation mit führenden Stromversorgungsherstellern können wir eine große Produktpallete von qualitativ hochwertigen Plasmastromversorgungen anbieten.

Lab Scale DC Plasma Power Supply - 750W; - 1,5KW

NEU: PLASMATEC AP (adjustable positve Pulse Technology)

Die Einführung einer neuen Pulstechnologie für asymmetrical bipolar DC-Pulsing eröffnet neue Prozessfenster für verbesserte Schichten. 

PLASMATEC AP; PLASMATEC MP; PLASMATEC AC, PLASMATEC DC-P                               von J.Schneider

  • Hochflexible, höchstzuverlässige Plasmastromversorgungen für PVD und PECVD.
  • Breites Leistung Spektrum durch Modulare Produktplattform.
  • Wasserkühlung (auf Wunsch Luftgekühlt).
  • Flexibel Einsetzbar zB. in bereits existierende Anlagen.
  • „All In One Gerät“ geeignet für DC / DC-Puls / Dual Magnetron.



Produktübersicht PLASMATEC

 

 "Defect Free Processing" ist unser Ziel

Die reine Stromregelung erlaubt keine Stromerhöhung am Geräteausgang. Dh. den ARCs die am Target entstehen können, wird bedingt durch die Gerätetopografie keine zusätzliche Energie in Form von plötzlichem Stromanstieg, wie beim Ausbruch von ARCs in Standard Plasmastromversorgungen üblich, zugeführt. Dies, gekoppelt mit innovativem ARC-Management (ARC-Unterdrückung) ermöglicht hervorragende Schichtqualität mit höchsten Depositionsraten. Zusätzlich verfügen die PLASAMATEC-Geräte über eine gezielt einstellbare ARC-Handling Parametrierung, u. a. speziell für reactive Prozesstechnologien für Oxi/Nitrid-Beschichtungen wie zB Al2O3 Aluminiumoxid, AlN Aluminiumnitrid etc…

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